上海超硅半导体工程案例

洁净等级：ISO5、ISO6级

行业类别： 半导体

工程时间：2022年7月-2022年8月

半导体厂房的净化车间在设计和运行上有一系列严格的要求，以确保生产过程中的产品质量和稳定性。

一、洁净度要求：

半导体生产过程中对空气中的微粒和有害气体含量要求极高，一般要求ISO 5级或更高级别，洁净度的维持需要依靠高效过滤系统、正压控制、气流组织等措施来实现。

二、温湿度控制：

温度和湿度的波动可能会对半导体材料和设备的性能产生影响，导致产品质量下降。因此需要配备精密的温湿度控制系统，确保生产环境的稳定。

一般来说，温湿度需要达到以下标准

【温度控制在22℃±2℃，相对湿度需要控制在百分之50±百分之5RH（或百分之50-60RH）】

三、微振动控制：

微振动可能会对生产设备的稳定性和精度产生影响，因此，净化车间需要采取微振动控制措施，如使用隔振基础、减震器等设备，以减少外部振动对生产环境的影响。

四、空气净化与通风：

空气净化系统通常采用初效、中效和高效过滤器组合，以去除空气中的颗粒物和有害气体。通风系统则需要确保空气流通性良好，避免死角和涡流的形成。

五、静电控制：

这包括使用防静电地板、防静电工作台、防静电服装等，以减少静电对产品和设备的影响。

六、设备和人员要求：

净化车间内的设备需要具有高度的稳定性和可靠性，以减少故障和维修次数。人员则需要经过专业培训，了解净化车间的运行要求和操作规范，以确保生产过程的顺利进行。