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电子净化车间工程

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发表时间:2018-06-07 08:57作者:奥宣净化来源:www.aoxuans.com

电子净化车间工程

  电子净化工程一般洁净度在1000级到10000级,温湿度控制严格,需要很高的洁净工艺; 由于电子元器件工艺生产技术的特殊性,它对生产环境,如洁净度、温度、湿度都有严格的要求,这直接关系到晶圆产品的质量和寿命,必须严格控制在要求范围之 内。在工程设计中,暖通空调专业担负着保证生产区洁净度等级和温度、湿度要求的使命。

  洁净室系统采用集中送风形式。 顶送侧下回风形式;

  过滤系统如何选择

  洁净室系统采用集中送风形式。 顶送侧下回风形式;

  维护结构如何选择

  1.千级、万级洁净室墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板,阴角全部选用圆弧连接;采用回风立柱为回风技术夹道;

  2.地面:一般为pvc防静电地板或2mm环氧树脂自流平地面;

  净化参数

  换气次数:1000级≥60次,1000级≥25次;;。

  压差:主车间对相邻房间≥10Pa平均风速:00级0.3-0.5m/s;

  温度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波动±2℃。

  湿度45-65%;噪声≤65dB(A);新风补充量是总送风量的10%-30%;照度:不低于350LX;

  一般操作流程

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客户案例:浙江平湖贝华美茵电子

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文章分类: 工程案例
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